SPT-20.
SPT-20是一种非常容易操作的金属溅射涂布机,为自动涂布机提供最佳价值。它用于多种金属的金属溅射,以提高成像分辨率,样品电导率,电子电荷降低,并降低对敏感样品的光束损伤。
SPT-20涂布机设计用于基本上平坦的标本,因为它没有倾斜旋转功能,通常用于3维样品,如昆虫和制造的部件。对于需要涂覆的“接地路径”的3个维样本,建议使用更先进的溅射涂布机,例如桌面DSR.。
SPT-20 Coocer集成了LCD触摸屏用户界面进行操作。外部真空泵(包括)允许尽可能快地实现,从而获得足够的涂层晶粒尺寸,用于大多数标准SEM分析。
- LCD控制面板 - 保存多个设置和涂层配方
- 快速轻松的涂层:按启动 - >自动真空 - >等离子涂层 - >通风口
- 涂层时间是用户可设置并在LCD上显示
- 涂布机的最小安装空间
- 包括外部旋转叶片真空泵
SPT-20. | DSR. | |
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目标材料 | Au,pt,pd,cu,Ag | Au,pt,au / pd,pt / pd,cu,ag |
目标大小 | φ50mm. | φ50mm. |
室尺寸 | 100毫米 | 170mm. |
电离电力 | 0到9 mA | 0至50 mA高达80W DC |
工艺气体 | 空气 | 空气或氩气 |
倾斜旋转阶段 | N / A. | 标准 |
厚度显示器 | N / A. | 标准 |
碳涂层 | N / A. | 可选的 |
涂布机尺寸(mm) | 420(w)x220(d)x230(h) | 500(w)X370(d)x450(h) |
装运重量 | 10千克(涂布机)+ 14公斤(泵) | 42千克 |