EDS EDAX元素
EDAX元素EDS与APEX™软件用于简单或高级元素微量分析
将EDS添加到SEM中，它就变成了一个非常强大的分析工具，可以使用高级的微观分析功能进行元素分析。EDAX APEX™软件提供了大量的功能，可以探测样品组成、厚度和元素映射，如下面的截图和解释所示。
元器件EDS的主要规格
- 高速嵌入式SDD检测器(不需要LN2)
- 能量分辨率:小于133 eV(在Mn Ka)
- 探测器面积:30毫米
- 窗口:氮化硅(Si3N4)
- 元素检测范围:Be(4) - Am(95)
- 最大输入计数率:> 300 kcps
- 软件:定性或定量分析
- 分析方式:点、圆、多边形、线扫描、映射
- 触屏模式
APEX™软件是为第一次使用的用户开发的一个理想的程序，具有点和面积定性或定量元素分析、绘图、线扫描和内置报告的分析功能。APEX™采用“项目”方法设计。
直观和可调的用户界面
操作人员可以根据保存的检测设置启动，分析过程可以以最小的努力完成。“只需3次点击”就需要tof收集频谱进行定性、定量分析，并保存。只需点击一次鼠标，就可以轻松设置多个屏幕布局。背景颜色可以设置为浅或深的偏好。
定性/定量分析
- 能在短时间内(1分钟内)知道未知样品的元素和数量
- 通过多种扫描方法(点、区……)，快速、方便地获取区域信息。
- 可靠的元素分析和按重量(wt%)、原子(at%)、误差(%)列出元素的3种比较图表或表格
- ZAF校正和分析结果表
多点分析
- 用点、区域或其他扫描方法在样品中标记几个检查位置
- 自动分析和保存
- 实现所选区域的4种分析条件，提高分析结果的可靠性
高速地图
- 便于分析不同颜色编码样品的元素分布情况
- 在较短的分析时间内，以低分辨率或高分辨率实时获取所需信息
线扫描
- 另一种检测样品元素分布的方法。根据用户设定的线进行分析，并将每个元素的分布进行清晰的搭配。
- 创建扫描电镜图像行扫描重叠和元素剖面
报告
- 在获得结果之后，可以根据用户需求生成报告，以各种格式显示获得的任何数据
- 能够修改或编辑通过保存原始文件在MS Word, Excel，或PowerPoint格式，或PDF