低真空溅射和用于标准SEM的碳涂布器
R系列台式涂布器是高生产率工具,可在具有符合人体工程学设计和紧凑型占地面积的全自动系统中提供一致和可重复的结果。R系列台式涂布器有3种型号可供选择,从:
- DSR.- 专用溅射涂餐
- DSR-L.- 用于大型样品的溅射涂层(100mm)
- DCR.- 专用碳涂布机(纤维或棒)
- DCR-L.-大型或多个样品的碳涂布机(100mm)
- DSCR.-两用溅射和碳涂布机
这DSR.溅射涂布机模型是一种专用涂层系统,能够在非导电或不良导电标本上涂覆金(Au),钯(Pd),铂(Pt),铂(Pt)和金/钯(Au / Pd)薄膜等贵金属,通常用于SEM成像和分析。具有细粒尺寸的均匀薄膜形成为适用于标准扫描电子显微镜的快速循环时间。这DSR-L.模型是一个特殊的版本,使用4″直径(100mm)的目标和300mm的腔室,允许均匀涂层到更大的样品。
这DCR.碳涂布机模型是一种专用的碳涂层系统,可以配置有螺纹或棒碳源。碳薄膜基本上是EDS分析的X射线透明,并且应用于非导电或导电性差的标本,通常用于高级SEM / EDS分析。这DCR-L.模型是使用300mm腔室的特殊版本,允许均匀涂层同时上的样品或多个冶金安装件。
这DSCR.将溅射和碳涂层与SEM样品制备的模块化单元相结合,可以配置为溅射涂布机或碳涂布机(螺纹),在一个仪器中具有可互换的头部。
外部真空泵(包括)达到小于50 mTorr的真空,其是贵金属溅射涂层和基本蒸发涂层的合适真空范围。允许实现快速真空,得到足够的涂层晶粒尺寸,以获得最多的SEM分析。如果使用高分辨率场发射SEM(FE-SEM)或TEM检查样本,那么我们建议我们的T系列涂布器这对于甚至更小的晶粒尺寸涂层具有添加的涡轮分子高真空泵。
- 两级,直接驱动旋转叶片泵
- 高精度石英晶体厚度监测仪
- 直观的触摸屏控制涂层过程
- 可通过网络更新的用户友好软件
- 控制涂料率以实现更细粒结构
- 手动或自动定时和厚度溅射
- 电子控制快门(DSR及DSCR)
- 气体吹扫和通风口的电子控制
- 易于改变2“(50mm)直径溅射靶(DSR和DSCR)
- 脉冲或闪存碳纤维涂层模式(DCR和DSCR)
- 碳棒涂层 -选修的(DCR)
- 易于更换标本阶段(标准旋转阶段)
- 2年工厂保修
触摸屏控件
所有涂层机都配有7英寸触摸屏,并全自动控制允许轻松操作,即使是缺乏经验的用户。可以在触摸屏上观察真空,电流和沉积信息作为数字数据或曲线。最后300个涂层的信息也保存在历史记录页面中。
样本持有人
所有涂布机型号可配备不同的样品级配置,具体取决于用户要求。标准样品级最多可容纳7个标准SEM引脚存根安装,可调节高度或角度。当需求发生变化时,保持器可以与其他支架轻松交换。
可选的旋转行星样台是一个很好的选择均匀涂层的试样孔隙或复杂的3D细节,需要涂层的特征难以达到的试样。
其他持有人可用于:
- 玻璃幻灯片
- 冶金坐骑
- JEOL和Hitachi风格气缸存根
脉冲碳纤维蒸发
这DCR.和DSCR.型号涂布器提供脉冲碳纤维蒸发。短脉冲提供更多控制的沉积,并显着降低与传统碳沉积相关的碎屑量。可选的碳棒涂层用于DCT模型。
DSR. | DCR. | DSCR. | |
---|---|---|---|
目标材料 | Au,pt,au / pd,pt / pd,cu,ag | 碳 | Au,pt,au / pd,pt / pd,cu,ag +碳 |
目标大小 | φ50mm. | 0.8mm(螺纹) | φ50mm. |
室尺寸 | 170mm. | 170mm. | 170mm. |
溅射电流 | 0到100 mA | N / A. | 0到100 mA |
碳蒸发电流 | N / A. | 0 ~ 30A(光纤)0 ~ 100A(棒) | 0 ~ 30A(光纤)0 ~ 100A(棒) |
系统电源 | 80W DC. | 720W DC. | 800W DC. |
工艺气体 | 氩气,氮气或空气 | 氩气,氮气或空气 | 氩气,氮气或空气 |
Tilt-Rotate阶段 | 标准 | 标准 | 标准 |
行星倾斜旋转舞台 | 选修的 | 选修的 | 选修的 |
厚度显示器 | 标准 | 标准 | 标准 |
碳涂层 | N / A. | 标准 | 标准 |
输入功率 | 110V(220V可选) | 110V(220V可选) | 110V(220V可选) |
涂布机尺寸(mm) | 500(w)x370d)x450(h) | 500(w)X370(d)x450(h) | 500(w)X370(d)x450(h) |
装船重量 | 42公斤 | 42公斤 | 44千克 |