扫描电子显微镜(SEM)应用实例

隔振技术说明欧宝娱乐合法吗

本页致力于解释振动的基本概念，以及用于抑制振动对高精度显微镜和其他工具的影响的技术，振动会在质量和性能方面产生有害问题。欧宝娱乐合法吗有关更详细的概述，欧宝体育上yb1k点com并索取我们的振动技术讲义。欧宝娱乐合法吗

振动是围绕平衡点的机械运动。换句话说，它是一种机械现象，在结构或地板上施加一个动态的外力，导致一段时间后重复的振荡运动。在振动源中，低频振动在日常活动中是察觉不到的，并会对半导体、显示制造、电子显微镜、光子学和生命科学等领域的高性能计量工具产生不利影响。

振动分类

周期性噪声定义为在任何给定时间作用于振动系统的已知激励幅值。它通常是由旋转机械引起的。随机噪声是由不可预测的激励引起的，如风速、路面粗糙度、行人和车辆交通以及各种活动期间的地面运动。

实验室中的振动源

地面振动表明了引起地板振动的所有因素。这些因素包括行人和车辆流量。外部噪音。建筑物受到的风、地震活动、HVAC系统和附近许多其他类型的机械设备取决于建筑物是如何抑制这些振动的，还是如何将它们传递到建筑结构中。
噪声是指直接对有效载荷施加力的因素，如噪音大、风机吹来的风或车门的打开和关闭。
直接力是直接作用于平台上的有效载荷的力，包括连接所有设备的电缆和电动线性级。

固有频率与共振

固有频率是当系统不受外力干扰时，系统共振或振荡的频率。较高的刚度和较低的质量表示较高的固有频率，较低的刚度和较高的质量表示较低的固有频率。如下文所述，隔离解决方案也具有谐振频率。

如果强迫频率与系统的固有频率重合，就会产生共振，从而产生较大的振荡。响应振幅相对最大的频率称为共振频率。通常用于隔振的材料，如弹性体和弹簧，如果它们的固有频率或共振频率与要衰减的振动频率接近，实际上会使载荷的振动更糟。

隔振

隔振定义为将物体与振动源隔离的过程。隔振理论是使系统的固有频率低于受迫频率，并抑制系统固有频率处的共振。随着技术的进步。为了隔离高性能计量工具产生的振动，必须采用隔振技术。欧宝娱乐合法吗

传递率（T）表示传递到隔离有效载荷的振动振幅与激励振动振幅的比率。固有频率越低，隔振效率越高，即传递率越低，隔振性能越好。
频率比是系统受迫频率和固有频率的函数，并用作确定隔振性能的评估标准。

当频率比达到1.414FN，所有大于该值的T都小于1时，产生隔离效果。另一方面。当透气性比小于1.414时。然后振动被放大。因此。透射率频率(1.414FN)不受阻尼值的影响，是确定各固有频率极限频率的合理值。如果频率比等于1。然后振动幅值最大(即当强迫频率与固有频率重合时发生共振)。

阻尼是通过耗散存储在振动系统中的能量来减少或抑制机械振动。无阻尼弹簧导致共振频率处的振幅峰值。另一方面。阻尼弹簧降低了共振时的振动幅度。然而，隔振性能与阻尼之间存在一种权衡关系，阻尼越大，隔振性能越差。

阻尼比是由ζ（zeta）表示的系统参数，它可以从无阻尼（ζ=0）到欠阻尼变化。

被动隔振系统的原理

被动隔振系统由三个部件组成：隔离质量（有效载荷）、弹簧（K）和阻尼器（C），它们作为谐振子工作。有效载荷和弹簧刚度定义了隔离系统的固有频率。而弹簧（隔离器）减少了地板振动传递到隔离有效负载的可能性。减振器消除了隔离系统内放大的振动。在大多数情况下。被动隔振系统采用气动弹簧，因为其低谐振频率特性可提供出色的隔振和阻尼。

虽然简单的隔振系统组成可以达到最大的隔振效率，但也存在局限性。如低频范围内的共振现象。更长的稳定时间。缺乏控制能力。

主动隔振系统的原理

主动隔振系统由反馈和前馈控制系统组成，集成了传感器和执行器，以将最敏感的设备从低频振动中隔离出来，被动隔振系统通常会由于共振频率放大这些振动。极其灵敏的传感器检测所有6个自由度的振动，数字控制器将传感器接收到的测量振动数据处理成数字信号。然后，控制器将信号发送给执行机构，执行机构通过产生相等和相反的力来消除振动。