桌面热蒸发涂布机- DTT
我们的DTT.桌面热蒸发涂布机为材料研究科学家提供了一种高度灵活的工具，可以使用各种格式生产薄膜标本，其中使用各种支架（船舶，篮子，线圈）用于涂层材料的三源热蒸发。
采用双泵系统，由外部真空泵（包括）和直接连接的TMP（涡轮分子泵）组成，DTT.热蒸发器可以在微托的范围内实现真空，允许将非常细的晶粒薄膜应用于多个基板。具有优异的细粒尺寸的均匀薄膜沉积在适用于先进材料研究和高倍率扫描电子显微镜的快速循环时间中形成。
这DTT.系统配有大室（直径300毫米），腔室高度选项（250至500mm）。三（3）个蒸发源支架允许连续涂层或同时涂覆合金材料。为了将薄膜粘附增加对基板并改善膜结构，可选的加热器允许基板加热至500℃。基板冷却也可选。蒸发涂层通常非常均匀，旋转基板或样品保持器可作为选择。质量流量控制（MFC）气体输入允许精确的气体流量控制和腔室压力。
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金属和介电膜
纳米与微电子
光学元件涂层
薄膜传感器的制造
医疗组件
磁设备
- 紧凑型系统中的3个材料源的热蒸发过程
- 无限的沉积时间而不破坏真空
- 顺序涂层或同时共蒸发合金化（可选）
- 蒸发源持有 - 船，篮子，线圈
- 500°C衬底加热器（可选）
- 水冷却电气进料进入工艺室
- 两级直接驱动旋转叶片粗泵（可选的无油泵）
- 涡轮分子泵 - 90 L / SEC LEYBOLD（可选250和350 L / SEC TMP）
- 精密质量流量计（MFC），用于对真空进行微量控制
- 高精度石英晶体厚度监测仪(水冷)
- 底物冷却(可选)
- 直观的触摸屏控制涂层过程
- 可通过网络更新的用户友好软件
- 控制涂料率以实现更细粒结构
- 手动或自动定时和厚度沉积
- 电子控制快门
- 气体吹扫和通风口的电子控制
- 易于变化的样品阶段（旋转级是可选的）
- 2年工厂保修
触摸屏控件
所有涂层机都配有7英寸触摸屏，并全自动控制允许轻松操作，即使是缺乏经验的用户。可以在触摸屏上观察真空，电流和沉积信息作为数字数据或曲线。最后300个涂层的信息也保存在历史记录页面中。
热蒸发源（船/篮/线圈）
DTT桌面热蒸发涂布机可根据用户要求配置传统供应商提供的不同的源支架，如船状、篮状、盘状等。蒸发源保持器的设计使源材料之间不会相互污染。电源支架的长度可以在5o到100mm的范围内。定制的样品支架和源支架可以很容易地适应。
样品或衬底支架
DTT台式热蒸发涂布机配有标准衬底支架，带有矩形和圆形涂层的面罩。具有“掩模”的定制衬底支架易于制造，或者可以以可选的增加的成本提供。通常在SEM中使用的样品支架，例如那些microtonano.可以很容易地适应底物和样品的重复固定。
| DTT. | |
|---|---|
| 真空（90 L / SEC TMP） | 0.5 x E-6 Torr |
| 真空（350 L / SEC TMP） | 0.5 x e-7托 |
| 前泵选项 | RVP（标准），隔膜，滚动 |
| 源持有人 | 船，篮子，线圈 |
| 来源数量 | 3. |
| 保持器长度 | 50到100毫米 |
| 室尺寸（标准） | 300mm深x 250mm高 |
| 室高（可选） | 高达500mm h |
| 电源供应 | 25V DC，0-100A |
| 电源选项 | 多重（共蒸发）0-150A |
| 工艺气体 | ar，o，n |
| 水冷 | 电源馈电（基板 - 可选） |
| 旋转舞台 | 可选的 |
| 衬底加热 | 到500°C |
| 厚度显示器 | 标准 |
| 输入功率 | 220V 1相20A |
| 涂布机尺寸（mm） | 650（w）x500（d）x560（h） |
| 装船重量 | 60千克 |