来自真空科学的PM100等离子体清洁器

等离子清洗机帮助扫描电镜操作员保持一个清洁的腔室,以获得尽可能高质量的成像。即使有最好的护理和卫生,扫描电镜室最终也会从房间的空气中收集沉积的有机污染物。通常,样品自身出气,在扫描电镜室内造成污染的环境。这是最明显的“暗矩形”的SEM样品,因为图像是缩小或缩小放大。深色区域是碳沉积,这是光束将样品表面的有机物和碳氢化合物解离的结果。

PM100等离子体清洁器实际上可以消除这个问题,也可以在成像之前清洗样品本身。请参阅本页下方的示例。PM100是唯一的等离子清洗系统,其运行功率低至1瓦,允许用户清洗最精致的样品原位前成像。

PM100可以添加到几乎任何扫描电镜或真空室可用端口。PM100安装在KF-40法兰上,但也可根据要求提供其他法兰选项。如果OEM没有为PM100提供适配器法兰,我们将协助为您的设备制造适配器法兰。

PM100等离子体清洁器为等离子体去污设置了一个全新的标准,采用了一个完全集成的解决方案——没有外部电子设备,没有电缆束,没有杂波——只是可靠地清洁真空室,如扫描电子显微镜。欧宝体育王牌yb48点top使用专有的算法,PM-100提供了简单的操作在宽功率范围和宽真空水平,没有参数调整。专利技术确保可靠的等离子欧宝娱乐合法吗体点火,即使在正常困难的低压(5-25 mTorr)和任何功率。操作者只需设置所需的清洁功率和运行时间,然后按“开始”键。

等离子体清洁PM100

PM100等离子体清洁器可以添加到几乎所有的扫描电镜与自由腔端口。欧宝体育上yb1k点com联系我们讨论你的设备类型。

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应用程序

PM100等离子体清洗机的应用实例:

等离子体清洗前的晶片

BEFORE -先前成像的暗矩形

等离子体清洗后的晶片

等离子清洗20分钟后

等离子清洗前粘结垫的SEM图像

BEFORE -先前成像的暗矩形

等离子清洗后粘结垫的SEM图像

等离子清洗20分钟后

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硬件

PM100等离子清洗机规格:

  1. 等离子体功率范围:1 - 75瓦
  2. 压力范围:10至100毫托
  3. 工作环境:空气、O2、H2(其他要求气体)
  4. 允许清洗操作时间:1秒至24小时
  5. 安装适配器:KF40(其他要求)
  6. 处理器:32位120mhz Arm®Cortex®M4内核
  7. 控制界面:USB
  8. 电源:24V DC / 4A max (1A典型,20W RF)
  9. 尺寸:长230毫米x 100毫米x 100毫米
  10. 重量:3.4磅(1.6公斤)
  11. 包括:控制软件,直流电源,电缆
  12. 根据要求定制颜色

5年保修-不需要服务合同

安装示例

PM-100等离子体清洁器CX-200plus SEM
PM-100等离子清洗机在EM-30plus桌面SEM