microPREP - FIB样品制备流程改进

微露天服务PRO系统3D micromac.开发出提供有效的激光样品制备,适合微观结构诊断和失效诊断的需要。用于准备样品的传统FIB工作流程通过在最终FIB处理之前完成粗加工步骤来实现巨大的速度改进和较低的FIB工具磨损和撕裂。因此,有微露天服务通过使用超短脉冲激光,可以在有效且经济地制备™Pro材料样品。

微露天服务™Pro允许创建复杂和3D形样本,以便在高级封装中更综合分析某些结构,例如通过硅通孔(TSV),甚至完全系统封装(SIP)。

此外,理想的是提供具有微米级精度的较大尺寸的样品。集成的概览摄像机辅助在较大的样品上导航 - 高清过程摄像头允许精确定位。

此外,微微第二激光的应用实际上没有结构损伤,并且没有材料的元素污染。此外,微露天服务与纯离子束工艺相比,™PRO的新方法具有更高的消融率。

模块化软件设计微露天服务™确保用于加工样品的高灵活性,用于广泛的微观结构诊断技术。基于机器提供和客户设计的参数设置(配方)微露天服务™PRO提供最佳的样品制备技术为:欧宝娱乐合法吗

  • 扫描电子显微镜(SEM)
  • 透射电子显微镜(TEM),
  • X射线显微镜(XRM),
  • 原子探针断层扫描(APT)
  • 微机械

通过正在进行的发展,市场上出现了越来越多的应用领域,其中MicroPrep™Pro能够帮助处理样品准备进行材料分析。除了仅仅是制备外,还可以通过MicroPrep™Pro易于跟踪样品。

MicroPrep Pro for激光样品制备FIB APT XRM
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特点和亮点

MicroPrep™功能和亮点:

  • 自由形式或箱式铣削和线路切割,以便快速访问感兴趣的区域
  • 加载任何类型的几何图形到系统
  • 用旋转工具为XRM和同步加速器应用准备圆柱样件
  • 一次运行中的多个样本启用更多吞吐量
  • 机动舞台以尽可能快的速度找到感兴趣的区域
  • 食谱驱动的软件,快速和容易的样品准备
  • 使用概览相机导航到感兴趣的区域
  • 在过程中或之后的清洁样品以使样品准备下一步
  • 即将到来的选择升级

microPREP™PRO是最适合样品制备的超短脉冲激光。利用超短脉冲激光进行微细加工的关键优点是结构损伤低、功率密度高、微米尺度的目标精度高。因此,microPREP™PRO是完美的激光切割和局部激光细化金属,半导体,陶瓷,以及化合物和聚合物。

MicroPrep™Pro能够为微观结构诊断和故障分析进行高批量样品制备。此外,集成的CO2雪地射流和额外的概述摄像头可帮助您减少更多的时间来更好地进行样品。

合适的应用包括:

  • 激光切割和单个样品制备
  • SEM-和微观分析
  • 微型机械测试的样品制备
  • 用于TEM的平面内和横截面
    • 基于microPREP的xsl - chunk阶段
  • X射线显微镜样品制备
  • 预成型APT样品
microPREP旋转阶段XRM APT样品准备

旋转级XRM / APT样品准备

MicroPrep Snowjet清洁

Snowjet Co2碎片清洁

应用程序和工作流示例

TEM横截面 - XL块

为了实现对横断面的瞬变电磁检测,microPREP™通过从任意但平坦的样品表面挖掘和切割定义明确的体积,实现了对现场特定的xl块™的“按钮”样品制备。为了进一步减少FIB制备时间,XL-Chunks™可以根据应用需要在感兴趣的区域自动激光薄至几微米厚度,与传统样品制备方法相比,节省了数量级的时间和成本。
MicroPrep TEM横截面过程
Microprep TEM横截面样品制备

透射电镜平面样品和大块样品-切割和细化

为了通过透射电子显微镜(TEM)对大体积样品进行研究,microPREP™系统提供了一种独特的三阶段方法。这包括从原料切割机的整体基本结构之后,随后laser-thinning几微米厚,最终变薄电子透明度使用广泛的离子束铣(龙头)或聚焦离子束(FIB)铣削而提供多达10000倍烧蚀率和一个数量级低拥有成本相比传统FIB工作流。
Microprep TEM散装样品切割和稀释过程

XRM - 3D X射线显微镜样品制备

对于使用高分辨率X射线显微镜(XRM或X-CT)的非破坏性的3D表征,需要约10微米直径的旋转对称样品。虽然常规FIB铣削需要数天或数周以制备合适的样品,但使用Microprep™系统的相同几何体的激光样品制备小于5分钟。
MicroPrep XRM X射线显微镜样品制备方法

APT原子探针层析成像样品制备

为了改善原子探测断层扫描(APT)的样品制备,MicroPrep™系统使得能够侧面切割的专用APT样品几何形状,并随后尖端锐化至小于15μm的直径。因此,MicroPrep™不仅有助于减少所需的FIB铣削,而且还提高了APT测量的产量和产量。
MicroPrep Apt原子探测断层扫描样品制备方法
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