扫描电子显微镜(SEM)应用实例

隔振技术说明欧宝娱乐合法吗

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振动是围绕平衡点的机械运动。换句话说，它是一种机械现象，一个动态的外力作用在结构或地板上，导致振荡运动，在一段时间后重复自己。在振动的来源中，低频振动在日常活动中是无法察觉的，并且会对半导体、显示器制造、电子显微镜、光子学和生命科学等领域的高性能计量工具产生不利影响。

振动的分类

周期性噪声定义为在任何给定时间作用于振动系统的已知激励的大小。它一般是由旋转机械引起的。随机噪声是由不可预测的激励引起的，如风速、道路不平度、行人和车辆，以及在各种活动中的地面运动。

实验室里的振动源

地面振动表明所有引起地板振动的因素。这些因素包括步行和车辆交通。外部噪音。吹向建筑物的风、地震活动、暖通空调系统和附近许多其他类型的机械设备取决于建筑物是如何抑制这些振动还是将它们传递到建筑结构。
声学噪声是直接对载荷施加力的因素，如噪音、风扇吹来的风或门的开启和关闭。
直接力是直接作用在平台载荷上的力，包括连接所有设备和电动线性级的电缆。

固有频率和共振

固有频率是当系统不受外力干扰时，系统共振或振荡的频率。较高的刚度和较低的质量表示较高的固有频率，较低的刚度和较高的质量表示较低的固有频率。稍后将解释，隔离解决方案也有谐振频率。

如果强迫频率与系统的固有频率重合，从而导致大的振荡，就会发生共振。响应振幅达到相对最大值的频率称为共振频率。通常用于隔振的橡胶和弹簧等材料，如果它们的固有频率或共振频率接近要衰减的振动频率，实际上会使有效载荷的振动更糟。

隔振

隔振定义为将物体与振动源隔离的过程。隔振理论是使系统的固有频率低于被强迫频率，抑制系统固有频率处的共振。随着技欧宝娱乐合法吗术的进步。从本质上来说，需要一种振动隔离技术来隔离高性能计量工具的振动。

传递率(T)表示传递到隔离有效载荷的振动幅值与激励振动幅值的比值。隔振效率随固有频率的降低而提高，即传递率越低隔振性能越好。
频率比是系统受迫频率和固有频率的函数，是确定隔振性能的一个评价标准。

当频率比达到1.414FN，且所有大于此值的T都小于1时，就会发生隔离效应。另一方面。当传导率小于1.414时。然后振动被放大。因此。传导率频率(1.414FN)不受阻尼值的影响，是确定各固有频率极限频率的合理值。如果频率比等于1。然后使振动振幅最大化(即当强制频率和固有频率重合时发生共振)。

阻尼是通过消耗振荡系统中储存的能量来减少或抑制机械振荡。无阻尼弹簧在谐振频率处导致振动振幅的峰值。另一方面。阻尼弹簧使共振时的振动幅度减小。然而，隔振性能和阻尼之间存在一个权衡，即隔振性能随着阻尼的增加而降低。

阻尼比是用ζ表示的系统参数，ζ可以从无阻尼ζ=0变化到欠阻尼ζ。

被动隔振系统的原理

一个被动隔振系统由三个部分组成:一个隔离质量(有效载荷)，一个弹簧(K)和一个阻尼器(C)，它们作为一个谐振子工作。有效载荷和弹簧刚度定义了隔震系统的固有频率。而弹簧(隔振器)则减少地板振动传递到隔离的有效载荷。阻尼器消除了在隔离系统内放大的振荡。在大多数情况下。被动隔离系统采用气动弹簧，由于其低谐振频率特性，提供了出色的隔振和阻尼。

虽然简单的隔振系统组成可以达到最大的隔振效率，但也存在局限性。如在低频范围内出现共振现象。更长的稳定时间。以及缺乏控制能力。

主动隔振系统的原理

主动隔振系统由反馈和前馈控制系统组成，集成了传感器和执行器，将最敏感的设备从低频振动中隔离出来，而被动隔振系统通常会放大低频共振频率的振动。极度敏感的传感器检测所有六个自由度的传入振动，数字控制器处理从传感器接收到的测量振动数据到数字信号。然后，控制器向执行器发送信号，执行器通过产生相等且相反的力来消除振动。