微升压真空浸渍系统

为了获得微观结构,计量,微硬度或微元素分析的最佳分析结果;试样通常安装在树脂“冰球”中并抛光到镜面饰面。树脂支架通常是精确的切片,以暴露在样本内的关键感兴趣的区域。该方法确保暴露扁平氧化物层以精确成像和化学分析。

适用于树脂安装的标本类型包括:

  • 金属(用于包含和谷物分析)
  • 半导体晶圆片及元件
  • 金属板组件
  • 电镀路径和通孔的电路板
  • 多层塑料薄膜
  • 矿物(用于提取的全部和磨碎的)
  • 种子和硬或木质植物材料
  • 陶瓷,复合材料和聚合物

在树脂安装时,必须考虑样品的形状,尺寸和数字以及试样的硬度,脆性,孔隙率,热敏和压力敏感性。需要具有足够硬度,附着力和耐化学性的合适的安装介质(树脂)。各种具有不同固化时间和性质的丙烯酸和聚酯树脂是可商购的。

选择树脂时,重要的是利用不沟槽并产生真空问题的树脂。有许多技巧和提示可用于指导用户如何准备伟大的SEM安装。例如,低粘度树脂和真空浸渍的使用非常有用,可帮助支持易碎和多孔的样本。在这些主题和未来的常见问题解答抛光抛光上观察出版物,以实现在纳米尺度上成像的绝对最佳缺陷的自由表面。

抛光部分适用于光学和/或扫描电子显微镜检查。对于SEM检查,样本需要应原以获得最佳结果,并且由于样品通常由树脂支架包围的“岛”,需要进行许多治疗方法。通常,薄的导电层通常被施加到抛光部分的表面以提高其电导率。涂料可以除去涂料,建议在涂覆SEM检查样品之前光学地观察抛光截面。

由于树脂明显是非导电的,因此可以以多种方式实现用于SEM分析的树脂安装的样品导电:

  • 如果热安装酚醛树脂可以与导电样品一起使用,那么添加适量的“碳填料”将为样品提供一个接地路径,并消除充电。这是一种理想的技术,因为支架同样适用于光学分析。这种方法适用于已经导电的样品,然而,对于不导电的样品,如陶瓷、塑料或一些矿物,这是不够的,其他的处理方法更有效。碳填料通常不能很好地与冷安装环氧树脂。
  • 具有固有导电的样品的冷安装环氧树脂的技术包括以下内容:
    • 对于像金属物体的较大样品,通常使用简单的铜带或银涂料将其接地,以将其置于样品架或台上,以在绝缘树脂上产生导电“桥”。
    • 另外,在环氧树脂中加入“铜丸”是研磨样品的一种简单方法。同样地,简单地在底座的一侧钻一个孔,然后加上一个金属螺丝来接触样品并延伸到外部,也是一种简单的接地技术。
  • 使用碳蒸发器或涂布机将薄的电子透明层(约20-25nm)施加到抛光表面是几乎任何样品的理想技术,尤其是矿物颗粒安装。虽然碳可以使样品无法用于光学检查,但可以容易地除去碳层。
    • 由于x射线的高透射性,碳是EDS化学表征的首选涂层材料。
  • 对于非导电样品,使用金属溅射涂布机施加纳米薄层电子透明纯金属将产生导电层以散发充电电子。涂层的电导率和粒度基于溅射的金属类型可变。高分辨率图像需要薄的高导电,细粒涂层
    • 对于通过金属涂层进行EDS分析,重要的是保持层超薄(小于10nm)并使用不会干扰样品的X射线光谱特征的金属。读者通过溅射技术参考关于金属涂层的选择的其他信息。
    • 大多数EDS软件允许定义涂层材料及其厚度以补偿其对定量组合物的测定的影响。

*需要注意树脂安装件的侧面,以便到达SEM样品架和阶段。如果碳涂层不接触舞台或样品架的导电部分,则使用一点碳或银涂料或从涂覆表面的小块铜带到桥梁的间隙。

利用树脂安装样品在微观分析中存在许多实际原因。发现其他人发现的方法通常不难。一旦您拥有适当的设备和用品,实现最高质量的结果是一个简单的过程。正如俗话所说的电子显微镜:

“成像和数据只有在样品制备好之后才能得到”

在样品制备上花费适当的努力对于获得满意的电子显微镜结果是至关重要的。

要进一步阅读这个主题,并找到树脂安装的优质供应-访问我们显微镜链接的样品准备标签页面。布勒,斯特鲁斯和其他人提供了全面的指南,概述了大多数类型的材料的方法。这是确定最佳实践和所需供应的完美起点。

Buehler:Summet™ - 我们的经验的总和

Buehler:材料方法

Struers:如何冷坐