高真空多源溅射涂料

DST3三源溅射涂布机和热蒸发

我们的台式多源溅涂布器提供材料研究科学家提供一种高度灵活的工具，可以各种格式生产薄膜标本，其三重溅射源或可选的热蒸发模块。溅射可以从多个头顺序地或同时发生，以产生薄膜合金或更有效地涂覆大面积。磁控管阴极是水冷却的，以允许比传统的紧凑型溅射涂料含有更厚的薄膜的长涂层。可以选择各种型号可供选择，以便为多种操作配置：

  • DST3-A：仅溅射 - 成角度的阴极
  • DST3-S:溅射的 - 直阴极
  • DST3-TA:溅射+热蒸发 - 成角度的阴极
  • DST3-TS:溅射+热蒸发 - 直阴极
  • DST2-A：较低价格2头溅射仅系统

与双泵系统组成的外部真空泵(包括)和直接附加TMP(涡轮分子泵)，DST3系列在微torr范围内实现真空，允许非常细的颗粒薄膜应用于多种基材。在快速的循环时间内形成了具有优良细晶粒尺寸的均匀薄膜，适合于先进材料研究和高倍扫描电子显微镜。

DST3系统配备了一个大的腔室(直径300毫米)和三个2英寸直径的水冷阴极，使其适合长时间沉积。系统配有射频电源和直流电源。它可以溅射半导体、电介质和金属(氧化和贵金属)靶。系统配有自动调节匹配箱，最大限度降低射频溅射过程中的反射功率。为了增加薄膜对基片的附着力和改善薄膜结构，可将300v直流偏置电压应用于基片(可选)或可选加热器允许基片加热到500°C。两个质量流量控制(MFC)气体输入允许精确的气体流量控制进入腔室。

DST3-T系统包括热蒸发能力以补充溅射工艺，在涂布过程中提供进一步的柔韧性。

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规格

典型的应用和研究用途

    • 金属，半导体和介电膜
    • 纳米与微电子
    • 太阳能电池应用
    • 共溅射工艺
    • 光学元件涂层
    • SEM和FE-SEM样品制备
    • 高兴溅射（透明角沉积）
    • 计算机内存应用程序
    • 薄膜传感器
    • 磁性薄膜器件
    • 细粒结构沉积

标准特性

  • 紧凑型系统中的溅射和热蒸发（T型号）过程
  • 三个2“水冷，磁控管阴极
  • 配备了适用于生产合金薄膜（DST3-TA）和多层沉积的DC和RF电源
  • 热源(选配- T型)
  • 无限的沉积时间而不破坏真空
  • 500°C衬底加热器（可选）
  • 300 V直流衬底偏置电压（可选）
  • 两级直接驱动旋转叶片粗泵
  • 涡轮分子泵（90 L / SEC LEYBOLD）
  • 两个精密质量流量计（MFC），用于对真空进行微量控制
  • 两种高精度石英晶体厚度监测器
  • 直观的触摸屏控制涂层过程
  • 可通过网络更新的用户友好软件
  • 控制涂料率以实现更细粒结构
  • 手动或自动定时和厚度溅射
  • 每个溅射源上的电子控制快门
  • 气体吹扫和通风口的电子控制
  • 易于改变2“（50mm）直径的溅射靶
  • 易于更换标本阶段(标准旋转阶段)
  • 2年工厂保修

功能易用性功能

触摸屏控件

所有的涂布机都配有7英寸触摸屏和全自动控制，即使没有经验的用户也可以轻松操作。真空、电流和沉积信息可在触摸屏上以数字数据或曲线的形式观察。历史页面还保存了最近300个涂层的信息。

  • 溅射涂布机触摸屏

用于溅射靶的直或成角度的阴极

DST3内部组件

成角度的阴极：

DST3-A和DST3-TA配有三个成角度的阴极，具有共同的焦点。可以同时或独立地从两个或三个（可选）靶以形成合金或多层沉积的溅射。该模型中基板的最大尺寸可达75mm（3英寸）。

DST3内部组件

阴极:直

DST3-S和DST3-TS使用3个直的2英寸水冷阴极，适用于溅射直径高达200mm(8英寸)的单个大样本或几个较小的样本。

样本持有人

根据用户要求，DST3型号可配备不同的样本级配置。标准样品级用具有可调节高度或角度的夹子保持玻璃载玻片。

定制样品支架可以很容易地适应。支架的标准晶圆尺寸为100mm(4”)和200mm(8”)可供选择。当需求变化时，可方便地与其他持卡人交换。

DST3内部组件

等离子体清洁剂选项

该DST3.可配备等离子体清洁选项。等离子体清洁是通过使用电离气体或等离子体从基材表面去除有机物的过程。在沉积薄膜之前预清洗基板可从基板表面减少污染（基于碳，氧化物），并改善基板和后续膜层之间的粘附性。

用于DST3溅射涂层的等离子体清洁剂
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DST3系列桌面涂层系统的规格

DST3. DST3-T.
溅射材料 所有金属和大多数氧化物 所有金属和大多数氧化物
蒸发 N/A 包括
真空 0.5 x E-6 Torr 0.5 x E-6 Torr
目标大小 φ50mm. φ50mm.
室尺寸 300mm. 300mm.
溅射电流 0到100 mA 0到100 mA
蒸发力量 N/A 0-1200V，0-500mA
系统电源 300W DC. 300W DC.
工艺气体 ar，o，n ar，o，n
Tilt-Rotate阶段 标准 标准
厚度显示器 标准（2） 标准（2）
输入功率 220V - 1相 220V - 1相
涂布机尺寸（mm） 500（w）X600（D）X570（H） 500（w）X600（D）X570（H）
机架尺寸（mm） 500（w）X600（D）X770（H） 500（w）X600（D）X770（H）
装船重量 160千克 160千克
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