低真空溅射和碳涂层的标准扫描电镜
r系列桌面涂布机是高生产力的工具,提供一致的和可重复的结果,在全自动化系统,具有人体工程学设计和紧凑的足迹。r系列桌面涂料有三种型号可供选择:
- 安全域-专用溅射涂布机
- DSR-L-大样品溅射涂布机(100mm)
- DCR-专用碳涂层机(纤维或棒)
- DCR-L- 用于大或多个样品(100mm)的碳涂布机
- DSCR- 双目的溅射和碳涂布机
的安全域溅射镀膜模型是将金(Au)、钯(Pd)、铂(Pt)、金/钯(Au/Pd)等贵金属薄膜覆盖在不导电或导电不良的试样上的专用镀膜系统,通常用于扫描电镜成像和分析。在适合标准扫描电子显微镜的快速周期内形成了均匀的细晶粒尺寸的薄膜。的DSR-L模型是使用4“直径(100mm)目标和300mm腔室的特殊版本,允许均匀的涂层上的较大样品。
的DCR碳涂布机是一种专用的碳涂布系统,可以配置螺纹或棒状碳源。对于EDS分析,碳薄膜基本上是x射线透明的,用于不导电或导电差的样品,通常用于高级SEM/EDS分析。的DCR-L模型是一种特殊的版本,使用一个300mm的腔室,允许均匀涂层到更大的样品或多个冶金支架同时。
的DSCR将溅射和碳涂层组合成用于扫描电镜样品制备的模块化单元,并可配置为在一台仪器中具有可互换头的溅射涂布机或碳涂布机(螺纹)。
外部真空泵(包括)达到小于50 mTorr的真空,这是一个适合贵金属溅射涂层和基本蒸发涂层的真空范围。可以实现快速真空,从而为大多数扫描电镜分析提供足够的涂层晶粒尺寸。如果样品将使用高分辨率场发射SEM (FE-SEM)或TEM检查,那么我们推荐我们的扬镀膜机它有一个附加的涡轮分子高真空泵,用于更小的晶粒尺寸的涂层。
- 两级直接驱动旋转叶片泵
- 高精度石英晶体厚度监测器
- 直观的触摸屏控制涂装过程
- 用户友好的软件,可以通过网络更新
- 控制涂层速度,以实现更细的晶粒组织
- 手动或自动定时和厚度溅射
- 电子控制快门(DSR和DSCR)
- 气体净化和排气的电子控制
- 2”(50mm)直径溅射靶(DSR和DSCR)
- 脉冲或闪光碳纤维涂层模式(DCR和DSCR)
- 碳棒涂布头-可选(DCR)
- 易于变化的样品阶段(旋转级是标准的)
- 2年工厂保修
触摸屏控制
所有的涂布机都配有7英寸触摸屏和全自动控制,即使没有经验的用户也可以轻松操作。真空、电流和沉积信息可在触摸屏上以数字数据或曲线的形式观察。历史页面还保存了最近300个涂层的信息。
样品持有人
所有涂布机机型可根据用户要求配置不同的样品台配置。标准样品台可容纳7个标准SEM销短支架,可旋转,高度或角度可调。当需求改变时,持有者可以方便地与其他持有者交换。
可选的旋转行星样品阶段是具有孔隙率或复杂3D细节的标本均匀涂覆的良好选择,其中难以达到样本的特征。
其他持有人可申请:
- 玻璃幻灯片
- 冶金坐骑
- Jeol和日立风格的气缸stub
脉冲碳纤维蒸发
的DCR和DSCR模型涂层提供脉冲碳纤维蒸发。短脉冲可提供更可控的沉积,并显著减少与传统碳沉积相关的碎屑数量。可选的碳棒涂布头可用于DCT模型。
安全域 | DCR | DSCR | |
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目标材料 | Au, Pt, Au/Pd, Pt/Pd, Cu, Ag | 碳 | Au, Pt, Au/Pd, Pt/Pd, Cu, Ag +碳 |
目标的大小 | Φ50毫米 | 0.8毫米(线程) | Φ50毫米 |
室的大小 | 170毫米 | 170毫米 | 170毫米 |
溅射电流 | 0 ~ 100ma | N/A | 0 ~ 100ma |
当前碳蒸发 | N/A | 0至30A(光纤)0至100A(杆) | 0至30A(光纤)0至100A(杆) |
系统电源 | 80 w直流 | 720 w直流 | 800 w直流 |
过程气体 | 氩气、氮气或空气 | 氩气、氮气或空气 | 氩气、氮气或空气 |
倾斜旋转阶段 | 标准 | 标准 | 标准 |
行星倾斜旋转台 | 可选 | 可选 | 可选 |
厚度监控 | 标准 | 标准 | 标准 |
碳涂层 | N/A | 标准 | 标准 |
输入功率 | 110 v (220 v可选) | 110 v (220 v可选) | 110 v (220 v可选) |
涂布机尺寸(毫米) | 500 (W) x370D) x450 (H) | 500 (W) x370 (D) x450 (H) | 500 (W) x370 (D) x450 (H) |
装运重量 | 42千克 | 42千克 | 44公斤 |