microPREP - FIB工作流程改进的样品制备

microPREP™PRO系统3 d Micromac为满足显微组织诊断和故障诊断的需要,开发了一种高效的激光样品制备方法。传统的FIB样品制备流程通过完成最后FIB处理前的粗加工步骤,实现了极大的速度提高和降低FIB工具磨损。因此,与microPREP利用超短脉冲激光可以有效和经济地制备™PRO材料样品。

microPREP™PRO允许创建复杂和3d形状的样品,以实现更全面的分析某些结构,如在先进的包,如通过硅通道(tsv),甚至完整的包内系统(SiP)。

此外,它是理想的提供更大尺寸的样品微米级精度。集成的概述相机帮助导航更大的样品-高清过程相机允许精确定位。

此外,皮秒激光的应用确保了几乎没有结构损伤和材料的元素污染。此外,microPREP与纯离子束为基础的过程相比,™PRO的新方法具有更高的消融率。

模块化软件设计microPREP™确保样品加工的高灵活性,广泛的微观结构诊断技术。基于机器提供和客户设计的参数设置(配方)microPREP™PRO提供了最佳的样品制备技术:欧宝娱乐合法吗

  • 扫描电子显微镜,
  • 透射电镜(TEM),
  • x射线显微镜(XRM),
  • 原子探针断层扫描(APT)
  • 微观力学

通过不断的开发,市场上出现了越来越多的应用领域,其中microPREP™PRO能够帮助处理样品制备的材料分析。除了简单的准备,样品也可以激光标记,方便跟踪microPREP™PRO。

microPREP Pro for Laser Sample Prep FIB APT XRM
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特色和亮点

microPREP™功能和亮点:

  • 自由形式或箱形铣削和线切割快速进入感兴趣的区域
  • 加载任何类型的几何体到系统中
  • 使用旋转工具为XRM和同步加速器准备圆柱形样品
  • 在一次运行中使用多个示例可以提高吞吐量
  • 机动化阶段,以最快的速度找到感兴趣的区域
  • 配方驱动的软件,快速和容易的样品制备
  • 用总览相机导航到感兴趣的区域
  • 清洗过程中或之后的样品,使样品准备好进行下一步
  • 可升级为即将到来的选项

通过使用超短脉冲激光microPREP™PRO是最适合的样品制备。超短脉冲激光微细加工的主要优点是结构损伤小,功率密度高,在微米尺度上的靶向精度高。因此,microPREP™PRO是完美的激光切割和局部激光细化金属,半导体,陶瓷,以及化合物和聚合物。

microPREP™PRO能够进行大量样品制备,用于微观结构诊断和故障分析。此外,集成的二氧化碳雪花喷气机和额外的概述相机帮助您减少您的时间,取样甚至更多。

合适的应用程序包括:

  • 激光切割和个别样品制备
  • 扫描电镜和显微分析
  • 微机械试验用样品制备
  • 瞬变电磁法的平面和截面
    • 基于microPREP XL-Chunk阶段
  • x射线显微镜样品制备
  • Pre-shaped恰当的样品
microPREP旋转阶段XRM APT样品制备

XRM / APT样品准备的旋转平台

microPREP Snowjet清洁

SnowJet CO2碎片清理

应用程序和工作流示例