高真空溅射和碳涂层的FE-SEM

五(5)种型号可供选择:

  • DST溅射
  • DST1-L溅射
  • DCT碳
  • DCT-L碳
  • DSCT双

t系列桌面涂布机是高生产力的工具,在全自动化系统提供一致和可重复的结果,具有人体工程学设计和紧凑的足迹。t系列桌面涂布机扩展r系列与增加的涡轮分子泵(TMP),以实现更高的真空水平,并可在4个型号选择:

  • DST-专用溅射涂布机
  • DST1-L-大室,专用溅射涂布机
  • DCT-专用碳涂层机(纤维或棒)
  • DCT-L-大室,专用碳涂布机(纤维或棒)
  • DSCT-两用溅射和碳涂布机

DST溅射涂布机模型是一个专用的涂层系统就是能外套黄金等贵金属(Au), (Pd)钯,铂(Pt),金/钯(Au / Pd)和铱(Ir)薄膜以及氧化涂料如铬(Cr)、钨(W)和其他导电或不导电标本,通常为高分辨率场致发射FE-SEM成像和分析。具有优良细晶粒尺寸的均匀薄膜在一个快速的周期内形成,适合先进的高倍扫描电子显微镜。的DST1-L是一种具有较大300mm腔体和4″(100mm)靶体的特殊型号,适用于像晶圆片这样的较大样品的涂层。我们也提供DST3哪一种是用于更复杂的涂层操作和合金化的多源溅射系统

DCT碳涂布机模型是一个专用的碳涂布系统,可以配置任意一个螺纹或棒状碳源。对于EDS分析,碳薄膜基本上是x射线透明的,用于不导电或导电差的样品,通常用于高级SEM/EDS分析。的DCT-L是一种具有较大300mm腔室的特殊型号,用于多种冶金支架和薄壁玻片的高通量涂布。

DSCT将溅射和碳涂层组合成用于扫描电镜样品制备的模块化单元,并可配置为在一台仪器中具有可互换头的溅射涂布机或碳涂布机(螺纹)。

与外部真空泵组成的双泵系统(包括)和直接连接TMP(涡轮分子泵)、扬达到真空micro-Torr范围中合适的真空范围贵金属溅射涂层和先进的真空蒸发镀膜,并允许快速达到导致一个适当的涂层晶粒尺寸进行高倍扫描电镜分析。如果样品将使用低分辨率的标准扫描电镜(钨源)检查,那么我们推荐我们的——r镀膜机更经济,更适合这种水平的显微镜。

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规范

标准特性

  • 两级,直接驱动旋转叶片粗加工泵
  • 涡轮分子泵(90升/秒莱宝)
  • 精密质量流量计(MFC)用于精密控制真空
  • 高精度石英晶体厚度监测仪
  • 直观的触摸屏控制涂装过程
  • 用户友好的软件,可以通过网络更新
  • 控制涂层速度,以实现更细的晶粒组织
  • 手动或自动定时和厚度溅射
  • 电子控制快门
  • 气体净化和排气的电子控制
  • 易于更改2″(50mm)直径溅射靶(DST和DSCT)
  • 脉冲或闪光碳纤维涂层模式(DCT和DSCT)
  • 碳棒涂布头-可选(DCT)
  • 易于更换标本阶段(标准旋转阶段)
  • 2年工厂保修

功能易用性特性

触摸屏控制

所有的涂布机都配有7英寸触摸屏和全自动控制,即使没有经验的用户也可以轻松操作。真空、电流和沉积信息可在触摸屏上以数字数据或曲线的形式观察。历史页面还保存了最近300个涂层的信息。

样品持有人

所有涂布机机型可根据用户要求配置不同的样品台配置。标准样品台可容纳7个标准SEM销短支架,可旋转,高度或角度可调。当需求改变时,持有者可以方便地与其他持有者交换。

可选的旋转行星样台是一个很好的选择均匀涂层的试样孔隙或复杂的3D细节,需要涂层的特征难以达到的试样。

其他持有人可申请:

  • 玻璃幻灯片
  • 冶金坐骑
  • Jeol和日立风格的气缸stub
标准倾斜旋转支架

标准倾斜/旋转支架

行星旋转倾斜台

可选行星旋转/倾斜支架

脉冲碳纤维蒸发

DCTDSCT模型涂层提供脉冲碳纤维蒸发。短脉冲可提供更可控的沉积,并显著减少与传统碳沉积相关的碎屑数量。可选的碳棒涂布头DCT模型。

碳涂布机线程

易装碳螺纹

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t系列桌面型高真空镀膜系统规范

DST DCT DSCT
目标材料 Au, Pt, Au/Pd, Pt/Pd, Cu, Ag, Ir, Cr, W Au, Pt, Au/Pd, Pt/Pd, Cu, Ag, Ir, Cr, W +碳
真空 0.5 x E-6 Torr 0.5 x E-6 Torr 0.5 x E-6 Torr
目标的大小 Φ50毫米 0.8毫米(线程) Φ50毫米
室的大小 170毫米 170毫米(300毫米dct - 300) 170毫米
溅射电流 0 ~ 100ma N/A 0 ~ 100ma
当前碳蒸发 N/A 0 ~ 30A(光纤)0 ~ 100A(棒) 0 ~ 30A(光纤)0 ~ 100A(棒)
系统电源 80 w直流 720 w直流 800 w直流
过程气体 空气或氩 空气或氩 空气或氩
Tilt-Rotate阶段 标准 标准 标准
行星倾斜旋转台 可选 可选 可选
厚度监控 标准 标准 标准
碳涂层 N/A 标准 标准
输入功率 110 v (220 v可选) 110 v (220 v可选) 110 v (220 v可选)
涂布机尺寸(毫米) 500 (W) x370 (D) x450 (H) 500 (W) x370 (D) x450 (H) 500 (W) x370 (D) x450 (H)
装船重量 42公斤 42公斤 44公斤
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