NANOSTATION软件

NanoStation 4.0软件为新手用户提供了一个简单、干净、无杂乱的界面，而更高级的用户可以轻松访问允许进一步控制显微镜功能的特性。有了直观的软件，用户可以快速、轻松地查看和保存图像，具有很大的细节。

在左下角，显示标准腔室视图相机视图或样品架示意图。在接口的左上角，Mini Map是在视野或感兴趣区域所需的最低放大率下收集的图像。当用户导航到样本和更高的放大率上的其他位置时，在迷你映射（黄色矩形）上指示当前视野的位置。

通过使用各种技术可以轻松调整所有“滑块”控制 - 使用鼠标滚轮，+/-按钮，键盘或“自动”功能拖动指示器。

除了高级用户的键盘快捷方式除了焦点等一些功能之外，软件还可以通过鼠标点击或鼠标滚轮轻松访问所有显微镜和成像调整。所有各种功能控制组都在逻辑上组织在软件接口上，与辅助窗口的视图较少的常见设置。

腔室相机和10个配件端口

的cx-200plus.扫描电镜到达标准与CCD室相机包括。SEM室提供10个附件端口。其中一些用于成像探测器和腔室照相机等标准部件。其他端口专门用于EDS和EBSD，而其他端口可以用于附件，如我们的阀杆检测器、冷却阶段或其他定制功能。腔室允许样品大到160mm与减少阶段运动。

样品定位阶段

的cx-200plus.SEM提供了一个标准的5轴工作台，自动“点击和移动”XYZRT样品定位，最终在灵活性。5个方向的控制是通过软件界面完成的，并利用样品的尺寸来防止与内室配件的碰撞。

倾斜函数对于检测平面样品的形貌非常有用。倾斜功能是同轴的，在倾斜过程中X轴被调整，以保持视野内的标本感兴趣区域(ROI)。compucentric倾斜功能提供了更多的通用性和时间节省，其更容易使用，特别是对经验不足的用户。

自动控制台还可实现cx-200plus.提供一种独特的“全景”模式，允许SEM通过控制更高放大倍数的电动工作台来收集大样本的高分辨率图像。非常有用的应用，如半导体和电子组件的详细检查或计量。

该舞台能够处理多个样品的大型样品（最多160mm）或样品架。可观察区域为110mm。

图像测量工具

图像计量或测量是非常灵活和准确的CX-200系列SEM。广泛的校准是在多个放大率，工作距离，光束能量和更多，导致测量误差小于1%。详细的校准报告随每个系统的文件，使CX-200plus成为一个有价值的工具，可以很容易地认证和接受在您的工作流程。

该软件可快速访问所有通用测量工具，如：

• 长度
• 直径
• 面积(矩形、圆形、多边形)
• 角度
• 注解

此外，行扫描功能(右图)可以用于非常详细和精确的测量，使用每个像素亮度的变化来准确地确定边缘和特征的真实位置。